У роботі наведено результати дослідження полів деформації, які виникають в околі локальних пошкоджень у монокристалах кремнію та германію методом рентгенівського дифракційного муару. З'ясовано, що релаксація полів деформації навколо механічних пошкоджень (відбитків і подряпин, лазерних пошкоджень) відбувається навіть за кімнатної температури, а також за температур відпалу від 473 К до 1073 К. Низькотемпературна релаксація є результатом зміщення атомів через ослаблення хімічних зв'язків, а високотемпературна є результатом руху дислокацій у площинах {111} і напрямках <110>.