| |
Филатов, Ю. Д.
Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов [Текст] / Ю. Д. Филатов
// Сверхтвердые материалы. – 2018. – № 4. – С. 71-81.
В результате анализа взаимодействия частиц шлама и износа полировального порошка показано, что рассеяние частиц происходит на углы 136, 8-173,2 [градусов], а эффективное дифференциальное сечение рассеяния составляет 0,4-1,8 Тб. |
