С89 |
Субмікронні та нанорозмірні структури електроніки [Електронний ресурс] : підручник / З. Готра, І. Григорчак, Б. Лукіянець [та ін.] ; за ред. З. Ю. Готри ; МОН України, Чернівецький національний університет ім. Ю. Федьковича. – Електрон. текстові дані. – Чернівці : Технологічний центр, 2014. – 130,00 грн, 300 пр.
У підручнику викладені фізико-хімічні основи функціонування субмікронних і нанорозмірних структур електроніки та технологічні принципи їх створення з використанням неорганічних та органічних матеріалів. |