| |
Оксанич, И. Г.
Математическая модель для виртуального мониторинга радиальной неравномерности распределения примеси в расплаве и слитке кремния на примере фосфора [Текст] / И. Г. Оксанич, А. С. Притчин, А. В. Касаткин
// Радиоэлектроника и информатика. – 2016. – № 1. – С. 8-13.
Усовершенствуется модель для виртуального мониторинга радиальной и осевой неравномерности распределения примеси в расплаве и слитке кремния. |
