|
Курапов, Ю. А. Морфология поверхности и тонкая структура толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода [Текст] / Ю. А. Курапов, Л. А. Крушинская, В. В. Борецкий // Современная электрометаллургия. – 2017. – № 2. – С. 53-58.
Приведены результаты исследования морфологии поверхности и тонкой структуры толстых (25…50 мкм) пленок углерода, полученных из паровой фазы с использованием электронно-лучевой технологии испарения графита и последующей конденсации в вакууме. |