|
Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий их Mo/(Ti+6% (по массе) Si)N [Текст] / В. М. Береснев, С. А. Клименко, О. В. Соболь [и др.] // Сверхтвердые материалы. – 2017. – № 3. – C. 32-38.
Методами растровой электронной микроскопии с энергодисперсионным элементным микроанализом, рентгеноструктурного анализа и микроиндентирования исследовано влияние условий осаждения в реактивной азотной атмосфере на морфологию роста, фазовый состав, структуру и микротвердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий, полученных испарением высокотемпературного отжига. |