Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук Відібрані Формуляр Опис документа
Сайт бібліотеки Сайт ВНТУ
          Шустин, Е. Г.
    Плазменные технологии обработки материалов для наноэлектроники: проблемы и решения [Текст] / Е. Г. Шустин
    // Радиотехника и электроника. – 2017. – Т. 62, № 5. – С. 427-439.

   Рассмотрены плазмохимические технологии.

  УДК 533.9.07


            

Є складовою частиною документа Радиотехника и электроника [Текст] / РАН. – 2017. – Т. 62, № 5.



Теми документа
Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'