|
Экспериментальная установка для плазмохимических исследований [Текст] / А. Е. Зарвин, В. В. Каляда, А. С. Яскин [и др.] // Приборы и техника эксперимента. – 2016. – № 6. – С. 50-56.
Описана экспериментальная плазмохимическая установка, предназначенная для исследования физических и химических процессов в газовых потоках с широким спектром физических состояний и параметров, знание которых необходимо при разработке перспективных вакуумных технологий. |