|
Лукин, К. А. Измерение толщин оптически прозрачных слоистых структур методом спектральной интерферометрии [Текст] / К. А. Лукин, Д. Н. Татьянко, О. В. Земляный // Радиофизика и электроника. – 2017. – Т. 8, № 1. – С. 77-85.
В работе представлены результаты применения метода спектральной интерферометрии оптического диапазона для измерения толщин тонких пленок. Аналитически и эксперементально проанализирован спектр суммарного излучения нв выходе волоконно-оптического интерферометра Фабри-Перо, который формируется за счет отражений широкополосного излучения от многослойных структур, в том числе и для частного случая двух отражений, когда объектом исследования являются тонкие пленки. |