Исследована применимость метода системного анализа к чистым помещениям технологии микроэлектроники для улучшения их энергоэкологических показателей. Рассмотрена возможность использования на практике метода оценки экологичности системы кондиционирования воздуха для чистых помещений микроэлектроники с помощью функционально-экологического анализа, приведен его алгоритм и пример реализации для действующей технологии.