| |
Севрюкова, Е. А.
Исследование механизмов образования и переноса поверхностных молекулярных загрязнений [Текст] / Е. А. Севрюкова
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – Т. 21, № 6. – С. 543-550.
Исследована кинетическая модель формирования поверхностных молекулярных загрязнений в результате двумерного зародышеобразования. Получены решения для описания структурных харакеристик растущих загрязнений через физические константы системы и параметров процесса роста в чистых помещениях индустрии высоких технологий. |
