| |
Электрохимический процесс осаждения пленок пермаллоя для магнитополупроводниковых микросистем [Текст] / В. В. Амеличев, С. А. Поломошнов, Н. Н. Николаева [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – Т. 21, № 5. – С. 482-484.
Представлены результаты исследования локального электрохимического осаждения из хлоридного электролита. Получены пленки пермаллоя Ni_81Fe_19 с магнитными свойствами, аналогичными объемным образцам, равномерные по толщине и с малыми механическими напряжениями без высокотемпературного отжига. Приведены зависимости скорости конгруэнтного осаждения пермаллоя от плотности тока. |
