| |
Вигдорович, Е. Н.
Рентгенодифрактометрические исследования структурных свойств слоев твердых растворов на основе нитрида галлия [Текст] / Е. Н. Вигдорович, И. Г. Ермошин
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – Т. 21, № 5. – С. 399-404.
Рассмотрены отличительные особенности дифрактометрии многослойных гетероструктур на основе нитрида галлия. С помощью установки Vector-GaN для проведения рентгеновской дифрактометрии показано влияние технологических условий получения слоев гетероструктуры GaAlN/InGaN/GaN/Al_2O_3 на их структурное совершенство. |
