| |
Скворцов, А. А.
Нестационарные фазовые переходы в системах металлизации кремниевых структур [Текст] / А. А. Скворцов, С. М. Зуев, М. В. Корячко
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 3. – С. 227-234.
Рассмотрены механизмы деградации алюминиевой металлизации в условиях теплового удара, создаваемого прямоугольными токовыми импульсами. Экспериментально изучены процессы тепловой деградации металлической пленки, связанной с фазовыми превращениями при прохождении токовых импульсов выше критической мощности. |
