| |
Баранов, Г. В.
Изучение влияния шага плазменного травления на шероховатость стенок канала Fin FET в схеме гетероинтеграции [Текст] / Г. В. Баранов, А. П. Миленин, М. Р. Бакланов
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 3. – С. 197-202.
Обсуждается природа возникновения шероховатости стенок канала Fin FET в схеме гетероинтеграции. Показано, что её появление обусловлено исходной шероховатостью стенок "фин"-структур, возникающей на шаге плазменного травления. |
