| |
Исследование структурных свойств кремния на сапфире в процессе гибридно-хлоридной газофазной гетероэпитаксии [Текст] / Е. М. Соколов, С. Д. Федотов, В. Н. Стаценко [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – Т. 21, № 3. – С. 208-217.
Методами атомно-силовой микроскопии и УФ-рассеяния исследована поверхность эпитаксиальных слоев кремния на сапфире (КНС). Проведен рентгеноструктурный анализ слоев КНС. |
