| |
Формирование автоэмиссионых эмиттеров с использованием микроволнового плазмохимического синтеза наноуглеродных структур [Текст] / Р. К. Яфаров, Е. С. Горнев, С. П. Тимошенков [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – № 2. – С. 122-127.
Описана технология формирования наноуглеродных эмиттеров для интегральных автоэмиссионных элементов. Определены режимы получения различных углеродных пленочных структур: алмазных, графитовых, графеноподобных. |
