| |
Использование тонкой пленки сплава Co_15Ti_40N_35 для каталитичекого роста углеродных нанотрубок методом CVD [Текст] / Д. Г. Громов, С. В. Дубков, А. А. Павлов [и др.]
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 2. – C. 105-111.
Показано, что многостенные углеродные нанотрубки могут быть выращены на каталитической поверхности сплава Co-Ti-N c низким содержанием кобальта традиционным методомхимического осаждения из ацетилена. |
