| |
Цуканов, А. В.
Наноэлектромеханические алмазные структуры в квантовой информатике. Ч І [Текст] / А. В. Цуканов
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 2. – С. 83-97.
Обзор посвящен технологии изготовления алмазных наномеханических систем и их использованию в современной микро- и наноэлектронике. Обсуждаются вопросы, связанные с оптимизацией рабочих характеристик алмазных резонаторов. |
