| |
Исследование электрофизических свойств МДП-структур с пленками нитрида кремния, легированными редкоземельнымиэлементами [Текст] / А. А. Ковалевский, А. С. Строгова, Н. С. Строгова, Н. В. Бабушкина
// Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 4. – С. 250-255.
Рассмотрена одна из проблем электроники МДП-приборов повышение стабильности их характеристик. Это решение проблемы обеспечено снижением плотности поверхностных состояний за счет использования в качестве туннельного и запирающего слоя пленок нитрида кремния, леригованных редкоземельными элементами. |
