| |
Новиков, Ю. А.
Плотность распределения электронов в зонде низковольтного РЭМ [Текст] / Ю. А. Новиков
// Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 5. – С. 373-383.
Предложен метод измерения плотности распределения электронов в зоне низковольтного растрового электронного микроскопа. Продемонстрировано, что сфокусированный зонд имеет гауссовскую форму. |
