| |
Формирование пучков быстрых нейтральных частиц на основе источников ионов с замкнутым дрейфом электронов [Текст] / Ю. П. Маишев, С. Л. Шевчук, В. Кудря, П
// Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 5. – С. 355-362.
Показана возможность создания источника пучков БНЧ на базе источников ионов "Радикал" с различной конфигурацией.Выполненные измерения свидетельствуют, что выходной пучок такого источника на 100% состоит из нейтральных частиц, независимо от энергии частиц и их состава. |
