| |
Новиков, Ю. А.
Виртуальный растровый электронный микроскоп. 4. Реализация на основе симулятора [Текст] / Ю. А. Новиков
// Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 6. – С. 456-467.
Приведено описание виртуального РЭМ, созданного на основе симулятора информации, получаемой на реальном РЭМ. В основе виртуального РЭМ лежит полуэмпирическая модель формирования изображения в РЭМ, работающем в низковольтном режиме и высоковольтном режиме при регистрации обратно рассеяных и вторичных медленных электронов. |
