| |
Фадеев, А. В.
Исследование латерального распределения частиц BF_3 плазмы с помощью двухракурсной эмиссионной томографии [Текст] / А. В. Фадеев, К. В. Руденко
// Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 6. – С. 435-440.
Проведено исследование однородности плазмы (BF_3 + 2 % Ar) методом двухракурсной эмиссинной оптической томографии в экспериментальном плазмохимическом реакторе. |
