|
Ражев, А. М. Мощные газоразрядные эксимерные ArF-, KrCl-, KrF- и XeCL-лазеры на двухкомпонентных газовых смесях без буферного газа [Текст] / А. М. Ражев, Е. С. Каргапольцев, Д. С. Чуркин // Квантовая электроника. – 2016. – Т. 46, № 3. – С. 205-209.
Представлены результаты экспериментального исследования влияния состава газовой смеси (активной среды) на энергию генерации и полный КПД эксимерных газоразрядных лазеров на молекулах ArF (193 нм), KrCl (222 нм), KrF(248 нм) и XeCL (308 нм), работающих без применения буферного газа. |