Обнаружено и исследовано с использованием модели адсорбции Лэнгмюра из прекурсорного состояния явление самоорганизации наноразмерных доменов при осаждении субмонослойных углеродных покрытий в СВЧ-плазме паров этанола низкого давления на атомно-чистой поверхности кристаллов кремния (100).