Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
          Создание литографических масок с помощью сканирующего зондового микроскопа [Текст] / Д. А. Бизяев, А. А. Бухараев, С. А. Зиганшина [и др.]
    // Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 6. – С. 437-447.

   Представлены экспериментальные результаты по сканирующей зондовой литографии - получению литографических масок с помощью сканирующего зондового микроскопа.

  УДК 53.086


            


Є складовою частиною документа Микроэлектроника [Текст] / РАН. – 2015. – Т. 44, № 6.



Теми документа






Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'