Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
          Ежовский, Ю. К.
    Формирование и некоторые свойства нанослоев халькогенидов цинка на полупроводниковых матрицах [Текст] / Ю. К. Ежовский, Н. В. Захарова
    // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 1. – С. 21-28.

   Представлены обобщенные результаты по синтезу ультратонких слоев халькогенидов цинка методом атомно-слоевого осаждения на поверхности кремния. Установлены закономерности хемосорбции компонентов и условия слоевого механизма формирования наноструктур.

  УДК 546.2:539.23


            


Є складовою частиною документа Микроэлектроника [Текст] / РАН. – 2016. – Т. 45, № 1.



Теми документа






Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'