|
| 621.385 | | Ш20 |
Шанин, Ю. Н.
Обработка приборов на откачном агрегате [Текст] : учеб. пособие по курсу "Технология электровакуумного и полупроводникового производства" для студ. спец. 0611,0567 / Ю. Н. Шанин, Б. П. Чесноков ; МВ и ССО РСФСР, Саратовский полит. ин-т. – Саратов : СПИ, 1976. – 60 с. – 0,12 р.
|
| |
|
