Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНТУ
Українська
Русский
English
Авторизація
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
621.382
М80
Моряков, О. С.
Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве
[Текст] : учебное пособие / О. С. Моряков. – Москва : Высшая школа, 1974. – 141 с. – 0,23 р.
УДК 621.382
Замовити
Додати до списку
Примірники
Місце збереження
Кількість
В наявностi
603 - ч/з для студ. ст. курсів
1
1
703 - абон. наук. літ.
1
1
704 - ч/з наук. літ., економ.та
1
1
Теми документа
Ключові слова/В/виробництво, производство/виробництво напівпровідників, производство полупроводников
Ключові слова/П/процес, процесс/процесс термовакуумный
Ключові слова/Т/термический режим
Статистика використання: Видач: 0
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'