Опис документа

Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

Формуляр

Опис документа

621.382

П73

Пресс, Ф. П.
Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов [Текст] / Ф. П. Пресс. – Москва : Энергия, 1968. – 200 с. – 0,79 р.

УДК 621.382

Примірники

Місце збереження Кількість В наявностi

301 - від. книгозберігання 1 1

603 - ч/з для студ. ст. курсів 1 1

704 - ч/з наук. літ., економ.та 1 1

Теми документа

Ключові слова/П/прибор полупроводниковый

Ключові слова/Ф/фотолітографія, фотолитография

Статистика використання: Видач: 0