| |
Установка "структура" с линейным ионным источником для формирования упорядоченных наноструктур [Текст] / А. Г. Иванов, В. В. Иванов, Д. А. Карпов [и др.]
// Приборы и техника эксперимента. – 2015. – № 4. – С. 130-137.
Описана конструкция разработанной ионно-пучковой установки с источником Tamaris 400-f, предназначенной для формирования упорядоченных наноструктур на больших подложках. |
