| |
Степанов, А. В.
Сильноточный импульсный имплантер [Текст] / А. В. Степанов, В. И. Шаманин, Г. Е. Ремнев
// Приборы и техника эксперимента. – 2015. – № 5. – С. 133-135.
Описан сильноточный импульсный имплантер на основе сильноточного ионного диода с радиальным магнитным полем и предварительным плазмообразованием. |
