| |
Исследование оптических свойств многослойных диэлектрических структур методом призменного возбуждения волноводных мод [Текст] / В. И. Соколов, В. Н. Глебов, А. М. Малютин [и др.]
// Квантовая электроника. – 2015. – Т. 45, № 9. – С. 868-872.
Предложен метод измерения толщины и показателя преломления тонкопленочных слоев в многослойных диэлектрических структурах, основанный на резонансном возбуждении волноводных мод с использованием призменного устройства связи. |
