| |
Авров, Д. Д.
Основные дефекты в слитках и эпитаксиальных слоях карбида кремния. ІІ.Микропоры. Малоугловые границы. Дефекты упаковки [Текст] / Д. Д. Авров, А. О. Лебедев, Ю. М. Таиров
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 4. – С. 337-349.
Приведены сведения о дефектах, существующих в слитках и эпитаксиальных слоях карбида кремния. Рассмотрены микропоры, малоугловые границы и дефекты упаковки. |
