| |
Локальное электрохимическое осаждение пермаллоя на кремниевые пластины с магниторезистивными наноструктурами [Текст] / С. В. Шаманаев, Р. Д. Тихонов, А. А. Черемисинов [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 3. – С. 313-316.
Представлены результаты исследований параметров пермаллоевых пленок, полученных методом электрохимического осаждения в локальные области, ограниченные фоторезистивной маской на металлизированной поверхности кремниевой пластины. |
