| |
Сивченко, А. С.
Методика определения дефектности подзатворного диэлектрика с использованием ускоренных испытаний тестовых структур [Текст] / А. С. Сивченко
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 3. – С. 304-312.
Разработаны методика и автоматизированная программа, позволяющие с помощью ускоренных измерений тестовых структур в составе пластин определять дефектность диэлектрика и оценивать его время навработки до отказа. |
