| |
Яцунский, И. Р.
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch [Текст] / И. Р. Яцунский
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2013. – № 6. – С. 52-56.
Представлены результаты микро- и наноструктур пористого кремния предлагается использовать метод неэлектрического травления MacEtch. |
