| |
Кудрик, Я. Я.
Наноструктурирование антидиффузионные слои в контактах к широкозонным полупроводникам [Текст] / Я. Я. Кудрик
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2013. – № 6. – С. 3-13.
Исследована связь между антидиффузионными свойствами пленок на основе TiB_2 и их нанокристаллической структурой. |
