| |
Борисенко, А. Г.
Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники [Текст] / А. Г. Борисенко
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2013. – № 4. – С. 37-41.
Описан источник потоков плазмы твердофазных материалов, генерируемых вакуумно-дуговым разрядом в парах диффузно испаряемого анода. |
