| |
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния [Текст] / А. А. Дружинин, А. П. Кутраков, Н. С. Лях-Кагуй, А. М. Вуйцик
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2013. – № 4. – С. 23-26.
Представлена конструкция датчика давления на основе нитевидных кристаллов кремния p-типа, легированных бором, с удельным сопротивлением 0,005 Ом.см. |
