| |
Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем [Текст] / В. А. Пилипенко, В. А. Горушко, А. Н. Петлицкий, В. В. Понарядов
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2013. – № 2-3. – С. 43-57.
В статье рассмотрены существующие методы геттерирования кремниевых пластин и механизмы их протекания. |
