| Г74 |
Готра, З. Ю.
Технологія електронної техніки [Текст] : у двох томах : навчальний посібник. Т. 1 / З. Ю. Готра ; МОН України, НУ "Львівська політехніка". – Львів : Львівська політехніка, 2010. – 888 с. – 258,50 грн, 500 пр.
Описано основні технологічні процеси електронної техніки: вирощування монокристалів, механічної, фізико-хімічної обробки матеріалів та напівпровідникових структур. Розглянуто процеси дифузії, епітаксії, іонної імплантації, лазерної, плазмової та електронно-променевої обробки та інші процеси. |
