| |
Балансировка кремниевых датчиков угловой скорости в процессе изготовления [Текст] / С. П. Тимошенков, Б. М. Симонов, О. М. Бритков [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 1. – С. 58-67.
Исследованы возможности корректировки параметров микроэлектромеханических кольцевых датчиков угловой скорости с помощью балансировки, осуществляемой изменением массы отдельных сегментов кольца, и оптимизации внутрикорпусного давления в процессе изготовления таких приборов. |
