| |
Вернер, В. Д.
Конструктивно-технологический базис на основе полностью самосовмещенных структур для терагерцевых БИС [Текст] / В. Д. Вернер, Н. М. Луканов, А. Н. Сауров
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 1. – С. 23-30.
Приведены конструктивно-технологические схемы самоформирования полностью самосовмещенных вертикально интегрированных транзисторных структур с обращенными и прямыми эмиттерами для терагерцовых БИС. |
