| |
Скоробогатов, П. К.
Выбор оптимальных параметров лазерного излучения для моделирования объемных ионизационных эффектов в тонкопленочных кремниевых микросхемах [Текст] / П. К. Скоробогатов, А. Ю. Никифоров, А. Н. Егоров
// Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 1. – С. 12-27.
Обоснован метод повышения эффективности использования энергии лазерного излучения (ЛИ) для создания высоких уровней эквивалентной мощности дозы, основанный на уменьшении длины волны излучения. |
