| |
Влияние пераметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе "Алмаз" для синтеза углеродных алмазоподобных пленок [Текст] / В. В. Гладковский, Е. Г. Костин, Б. П. Полозов [и др.]
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2014. – № 5-6. – С. 39-45.
Представлены результаты исследований влияния на температуру подложки параметров высококачественного разряда в плазмохимическом реакторе "Алмаз". |
