Обоснован метод повышения эффективности использования энергии лазерного излучения (ЛИ) для создания высоких уровней эквивалентной мощности дозы, основанный на уменьшении длины волны излучения. Показано, что оптимальный диапазон энергий ЛИ для моделирования объемных ионизационных эффектов в КМОП-микросхемах, выполненых по технологии "кремний-на-изоляторе" (КНИ) и "кремний-на-сапфире" (КНС) в общем случае зависит от технологических особенностей изготовления и лежит в пределах от 0,9 до 0,75 мкм.