| |
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках [Текст] / Е. Ф. Венгер, М. П. Литвин, Л. А. Матвеева [и др.]
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2014. – № 4. – С. 39-44.
Исследована технология конденсации в вакууме тонких нанонеоднородных пленок Ge на полуизолирующие подложки GaAs (100). |
