|
| | |
Исследование технологии плазменного наноструктурирования кремния для формирования высокоэффективных эмиссионных структур [Текст] / В. А. Галперин, Е. П. Кицюк, А. А. Павлов, А. А. Шаманаев
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2014. – № 4. – С. 36-41.
|
| |
|
